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產(chǎn)品特色
．大面積均勻性
．高鍍膜速率
．低溫真空鍍膜
．可通入多組氣體
．易操作及易維護(hù)
．可以客戶做修改
．可搭配制等離子光譜分析儀做制程等離子監(jiān)控及控制
可應(yīng)用范圍
．半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)
．太陽能產(chǎn)業(yè)
．LED產(chǎn)業(yè)
．光電產(chǎn)業(yè)
．鍍膜制程
．學(xué)術(shù)研究
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