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產(chǎn)品特色

．處理均勻性佳

．離子能量低、不損傷基板

．沒(méi)有電極及基板的污染

．專利設(shè)計(jì)之特殊等離子電極

．高密度等離子源

    ＊等離子效率高、清潔效率高

    ＊可控制低的離子能量

    ＊結(jié)合化學(xué)反應(yīng)性及物理撞擊性

．處理速度快、清潔效率高、可靠度高

．操作范圍廣

．可使用多種制程氣體

．全自動(dòng)且容易操作

．設(shè)備穩(wěn)定高，容易維護(hù)

．可依客戶需求作更改

可應(yīng)用范圍

． LCM、 IC 封裝( Flip Chip， CSP， BGA， Lead Frame， etc. )、LED 封裝、 SMT、 PCB、 FPC、光電元件、電子元件、封裝貼合前清潔

．印刷或黏著前之表面粗化或清潔