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產(chǎn)品特色
．處理均勻性佳
．離子能量低、不損傷基板
．沒有電極及基板的污染
．高密度等離子源
＊等離子效率高、清潔效率高
＊可控制低的離子能量
＊結(jié)合化學反應(yīng)性及物理撞擊性
．處理速度快、清潔效率高、可靠度高
．操作范圍廣
．可使用多種制程氣體
．全自動且容易操作
．設(shè)備穩(wěn)定高，容易維護
．可依客戶需求作更改
可應(yīng)用范圍
．殘余光阻去除
．PSS 來料清潔制程
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