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產品特色
．高密度等離子源，等離子效率高，減少制程時間
．特殊之氣體進氣、擴散及抽氣系統(tǒng)設計
．處理之均勻性佳
．等離子均勻性佳
．可使用多種制程氣體
．全自動且容易操作
．設備穩(wěn)定高，容易維護
．可根據客戶需求設計專用特殊規(guī)格之機臺
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