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PVD & PECVD Complex系統(tǒng)

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深圳Hybrid 500 - 4A2S
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詳情介紹

產(chǎn)品特色

.可設置2組Sputter及2側陰極電弧模組。

.整合PVD及PECVD系統(tǒng)技術,可以制備附著性極佳之Me/DLC復合鍍層技術。

.可彈性應用于刀工具硬質膜層之制作及耐磨耗零件之Me/DLC披覆。

.可制備:TiN、AlTiN、AlCrN、ZrN、WCC、Me/DLC等。


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