超低溫深圳等離子清洗機中存在下列物質：處于高速運動狀態(tài)的電子，處于激活狀態(tài)的中性原子、分子、原子團(自由基);離子化的原子、分子，未反應的分子、原子等，但物質在總體上仍保持電中性狀態(tài)。在真空腔體里，通過射頻電源在一定的壓力情況下起輝產(chǎn)生高能量的無序的等離子體，通過等離子體轟擊被清洗產(chǎn)品表面.以達到清洗目的。

超低溫深圳等離子清洗機是物質的一種存在狀態(tài)，通常物質以固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)三種狀態(tài)存在，但在一些特殊的情況下有第四種狀態(tài)存在，如地球大氣中電離層中的物質。

其采用無線電波范圍的高頻產(chǎn)生的等離子體與激光等直射光線不同。等離子體的方向性不強，這使得它可以深入到物體的微細孔眼和凹陷的內(nèi)部完成清洗任務，因此不需要過多考慮被清洗物體的形狀。對這些難清洗部位的清洗效果與氟利昂清洗的效果相似甚至更好。

超低溫深圳等離子清洗機需要控制的真空度約為100Pa，這種清洗條件很容易達到。因此這種裝置的設備成本不高，加上清洗過程不需要使用價格較為昂貴的有機溶劑，這使得整體成本要低于傳統(tǒng)的濕法清洗工藝。