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產(chǎn)品特色

.ta-C涂層專用機

.過濾式彎弧設備

.占地:W3590*D3100*H3400 mm

.腔體尺寸:525*482*H617 mm

.有效鍍膜空間:D360*H100 mm

.6 軸(D125mm)公自轉轉座

.膜厚:0.1~1μm

.制程時間:2.5~3h


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