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產品功能
在大氣的環(huán)境下，快速的清除有機污染物
達到元件表面清潔及改善的功能，有效提升元件封裝、黏著、印刷之可靠度
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產品特色
．等離子效率高、處理速度快
．處理均勻性佳
．電極更小化設計，可處理下置產品
．操作簡單，可調整等離子功率、處理距離
．可整合于 in Line 產線
．處理金屬基板材質，不會造成元件損傷
可應用范圍
．液晶面板產業(yè) STN、TFT、OLED、LTPS
．觸控面板
．光電元件、電子元件封裝貼合前清潔
． LED 封裝、PCB 產業(yè)
．太陽能產業(yè)
． Touch Panel 制程
(1) Cover lens coating 制程前清潔
(2) Touch sensor PR 制程前清潔
(3) 貼合制程前清潔
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